Dow 電子材料
光刻材料
陶氏電子材料事業群在光刻材料領域一直是領軍人物,在提供尖端的光刻創新技術和工藝方面擁有三十多年的經驗。陶氏將這種專業素養引入LED市場,推出一系列的正型g-Line和i-Line 光阻和相關的輔助産品。這些材料特別適宜于用于LED製造的成像工藝步驟,包括圖案化藍寶石基材(PSS)、正型和負型光刻工藝步驟等。
陶氏的LED光阻能够滿足所有的關鍵性能指標:
- 解析度高
- 優异的耐蝕刻性能
- 聚焦深度寬
- 熱穩定性
我們的光刻材料采用最嚴格的品質標準進行製造,滿足半導體和化合物半導體製造工藝的各種苛刻要求。