ダウ・ケミカル、「アイコニック」シリーズのCMP研磨パッド新製品を発表

半導体市場向けに最新材料を提案

February 12, 2013

ザ・ダウ・ケミカル・カンパニー(本社:米国ミシガン州、会長兼CEO:アンドリュー・リバリス)の事業部門であるダウ・エレクトロニック・マテリアルズは、「アイコニック」(IKONIC™)2000および3000シリーズのCMP(化学機械平坦化)研磨パッドを発表しました。すべての「アイコニック」パッドは、28ナノメートル以下のテクノロジー・ノードでの使用に対応し、2000シリーズは銅バリア、HKMG、バフ研磨用途向け、そして3000シリーズは銅バルクの研磨を目的に開発されました。

「『アイコニック』パッドの投入によって、われわれはCMP製品性能の新基準を打ち立てました。『アイコニック』パッドに採用された新技術により、進化し続ける最新プロセスに対応する顧客の技術的要件に応えることができます」と、ダウ・エレクトロニック・マテリアルズのCMPグローバル・マーケティング・ディレクターであるコリン・キャメロンが述べています。

シリーズ最初の製品である「アイコニック」2020Hパッドは、研磨速度を維持したまま、従来品と比較して研磨起因の欠陥発生を大幅に低下させます。さらに、2000シリーズのCMPパッドは、表面粗さの最適な調整が容易になるよう設計されており、製品寿命の長期化を可能にします。このため、研磨品質の一貫性が向上し、総合コストの低減につながります。

「アイコニック」3040Mパッドは、3000シリーズとして初めての製品です。これまでの銅バルク向けCMPパッドと比較して、スクラッチ欠陥を大幅に低減します。さらに、「アイコニック」3040Mパッドにより、段差解消性能が向上し、総合コストが低減します。このパッドは、さまざまな用途向けに多彩な仕様で販売されます。

キャメロンは、「今回、『アイコニック』2020Hおよび3040Mパッドを新たに発表する間にも、顧客の多様な要求に応えるために両シリーズのさらなる技術開発を続けています。『アイコニック』パッドシリーズは、独自の材料と柔軟な密度設計を備えており、幅広いカスタマイズ製品を提供することが可能です」と述べています。

現在、サンプルが入手可能であり、複数の顧客と導入試験を進めています。

ダウ・ケミカルは米国ミシガン州に本社を置く世界最大の石油化学品メーカーです。世界160カ国で事業活動を展開するダウの年間売り上げは570億ドル、従業員数は5万4千人です。世界36カ国188カ所の製造拠点で、5千を上回る製品の生産に従事しています。ダウ・ケミカルは1973年に東京証券取引所に上場した最初の外国企業です。www.dow.com


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沢登
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