다우케미칼, CMP 연마패드 IKONIC 플랫폼 신제품 발표

반도체 시장에 새로운 첨단 소재 도입

한국, 서울 - January 30, 2013

세계적인 화학회사 다우케미칼(Dow Chemical Company, NYSE: DOW)의 한 사업부인 다우 전자재료(Dow Electronic Materials))는 오늘 IKONIC™ 2000과 IKONIC™ 3000 연마패드 제품군 시리즈 중 첫 번째 제품을 출시한다고 발표했다. 다우 전자재료는 2012년 말 IKONIC CMP연마 패드 플랫폼을 출시한 바 있다. IKONIC CMP 연마 패드 플랫폼에 기반한 모든 패드는 28nm 제조 노드 및 그 이하 노드에서 사용할 수 있도록 설계되었다. IKONIC 2000 연마 패드는 구리 배리어, HKMG 및 버핑 애플리케이션을 겨냥하며, IKONIC 3000 연마패드는 벌크 구리 연마에서 사용될 수 있도록 개발되었다.

다우 전자재료의 콜린 카메론 (Colin Cameron) CMP 글로벌 마케팅 이사는 "IKONIC 패드 플랫폼을 기반으로 한 최초의 패드를 출시함으로써 성능에 있어서 새로운 기준을 세우고 있다”면서 "다우의 IKONIC 연마 패드에서 사용된 새로운 기술은 최첨단 공정에서 끊임없이 요구되고 있는 고객사의 최첨단 기술적 요건들을 지원할 것이다”라고 말했다.

새로운 패드 제품들 가운데 첫 번째 제품인 IKONIC 2020H는 연마율을 유지하면서도 결함 수준이 기존 패드보다 훨씬 낮다. 또한 IKONIC 2000시리즈의 모든 패드는 최적의 패드표면을 위한 컨디셔닝을 쉽게 하면서도 긴 패드 수명을 위해 만들어졌다. 이 같은 특징은 연마성능의 지속성을 향상시키고 비용을 절감시켜 준다.

IKONIC 3040M은 IKONIC 3000시리즈의 첫 번째 연마 패드이다. 이 패드는 다른 벌크 구리 연마패드에 비해 스크래치 결함에 있어서 상당히 향상된 결과를 보여준다. 또한 IKONIC 3040M은 토포그래피(topography) 성능 개선 및 비용 절감의 목적을 달성했다. 이 패드는 다양한 애플리케이션을 위해서 다양한 옵션과 조합이 가능하다.

"오늘 IKONIC 2020H와 IKONIC 3040M 패드가 출시되었으며, 추가적인 패드 제품들은 다양한 고객사의 특정 요건을 충족할 수 있도록 설계하여 각 시리즈 별로 활발히 개발 중에 있다. 우리의 IKONIC 플랫폼은 유연성 높은 설계 밀도를 사용하여 화학소재의 독특한 조합을 만들어 냄으로써, 고객사에게 더욱 다양하게 맞춤화된 솔루션을 공급할 수 있다"

현재 샘플을 공급하고 있으며, 다양한 고객들과 베타테스트도 진행 중이다.

다우(Dow) 회사 소개

다우는 인류진보에 필수적인 것들을 끊임없이 향상시키기 위해 과학과 기술을 결합 시키고 있다. 지속가능성 원칙을 토대로 화학과 혁신을 연결하여 담수, 식량, 재생 가능 에너지, 환경보호 등의 글로벌 이슈를 해결하는데 도움을 주고자 하는 기업이다. 특수화학, 신소재, 플라스틱 비지니스, 농화학 분야에 있어서 시장을 선도하는 다우의 다양한 제품 포트폴리오는 전세계 160여개국 전자, 담수, 에너지, 코팅, 농업 분야와 같은 가파른 성장세를 보이는 시장에서 다양한 기술 기반 제품과 솔루션을 제공하고 있다. 2011년 기준으로 다우의 연 매출은 600억 달러에 달하며, 전세계적으로 52,000여 명의 직원이 일하고 있다. 현재 전세계 36개국, 197개 공장에서 5천여 종 이상의 제품을 생산하고 있다. ‘다우’ 또는 ‘컴퍼니’는 별도로 명기되지 않는 한 다우케미칼 및 통합 자회사를 의미한다. 자세한 정보는 www.dow.com 참조.

다우 전자재료(Dow Electronic Materials)

다우 전자재료는 전자 산업을 위한 소재 및 기술을 공급하고 있으며, 반도체, 인터커넥트, 피니싱, 태양광, 디스플레이, 광전지, LED 및 광학 시장에 혁신적인 리더십을 확보하고 있다. 전세계 최첨단 기술 센터에서 유능한 다우 연구개발자와 애플리케이션 전문가들이 팀을 이루어 고객과 긴밀하게 협력함으로써 차세대 전자를 위한 솔루션, 제품 및 기술 서비스를 제공하고 있다. 이러한 파트너십은 다우의 혁신을 가능하게 하는 원천이 되고 있다. 다우의 기술은 PC에서부터 TV 모니터, 스마트폰, 태블릿 및 기타 휴대용 기기에 이르는 가전제품뿐 만 아니라 전자 기기 및 시스템을 아우르는 폭넓은 산업 분야에 적용되고 있다. 자세한 정보는 http://www.dowelectronicmaterials.com 참조.


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