다우전자재료, 세리아 연마 애플리케이션을 위한 CMP 연마 패드 IKONIC™ 4000 시리즈 발표

업계 최고 수준의 연마 결함 성능(micro-scratch) 및 연마 안정성 특징 신규 애플리케이션으로 IKONIC™기술 적용 확대

서울 - February 13, 2014

세계적인 화학회사 다우케미칼(Dow Chemical Company, NYSE: DOW)의 사업부인 다우전자재료(Dow Electronic Materials)는 오늘 CMP(chemical mechanical planarization, 화학기계연마) 연마 패드인 IKONIC™ 4000 시리즈를 새롭게 선보였다. 이 패드 시리즈는 기본적으로 세리아(ceria) 기반 애플리케이션에 사용된다.

다우전자재료의 콜린 카메론(Colin Cameron) 마케팅 CMPT 총괄이사는 “현재 IKONIC 기술에 대한 업계 전반적인 반응이 매우 뜨겁다”며, “IKONIC 4000 시리즈는 연마결함(micro-scratch, 이하 연마결함)이 적고, 안정적인 연마율을 제공함과 동시에 웨이퍼 막질 두께 균일도가 때문에 고객들로부터 좋은 반응을 얻고 있다. 이 신제품은 최신 최첨단 제품 설계에서 요구되는 많은 핵심 성능들을 제공한다. 또한 공정의 미세조절이 매우 용이하며, 특정 공정 요건에 맞추어 고객 최적화도 가능하다. 다우 고유의 양산 제조 및 공정 제어 기술력은 고객사의 공정 과정에 있어 일관성과 신뢰도를 보장함으로써 반도체 제조성능 향상에 더욱 일조하고 있다”고 말했다.

새로운 IKONIC 4000 시리즈는 반도체 연마기술에서의 두 마리 토끼인 최첨단의 평탄화 요건과 결함 감소를 모두 한꺼번에 잡은 제품이다. 또한 고유의 화합물은 패드 사용기간 동안 안정적인 연마율을 제공, 세리아 슬러리기반의 연마 애플리케이션과 관련된 문제들을 해결하는데 이상적인 소재다. IKONIC 4000 시리즈는 업계 표준 IC 1000 연마 패드와 비교해 연마결함 성능이 70%나 향상될 정도로 뛰어난 성능을 제공한다.

다우의 고객들과의 협업을 통해 개발된 IKONIC 4000 시리즈는 패드 경도나 다공성(porosity) 면에서 다양한 조성이 가능하기 때문에 특정 고객 요구사항에 맞춘 커스터마이징이 가능하다. 뿐만 아니라 컨디셔닝이 쉽고 패드 사용 기간 동안 일정한 표면조도를 유지하는 것이 특징이다.

IKONIC 4000 시리즈는 성공적으로 성능 검증을 마쳤으며, 현재 샘플도 이용 가능하다.

IKONIC CMP 연마 패드

IKONIC 플랫폼은 유연한 제품 설계가 특징인 화합물로 고객들에게 다양한 맞춤형 솔루션을 제공한다. 연마결함 성능 개선을 통해 높은 웨이퍼 수율을 달성할 수 있도록 디자인된 이들 신제품 패드는 또한 잠재적으로 패드의 사용기간을 늘임으로써, 연마장비의 운용시간을 늘릴 수 있도록 한다. IKONIC CMP 패드는 단위공정 생산량 증가(throughput gain)를 위한 다양한 연마율 목표 범위와 연마 막질 선택비(selectivity) 요건을 충족할 수 있다. 이 밖에도 IKONIC 제품군 중 최적화된 제품을 선택해 사용할 수 있어 평탄화 효율과 웨이퍼 평탄도(topography)를 개선시킬 수 있다. 이러한 이점들을 바탕으로 IKONIC 연마 패드 플랫폼은 다양한 최첨단 연마 환경에 이상적인 제품이다.

다우케미칼 소개

다우(NYSE: Dow)는 인류 진보에 필수적인 것들을 끊임 없이 향상시키기 위해 과학과 기술력을 결합시키고 있으며 화학, 물리학 및 생물학 분야의 전문 기술을 융합하여 혁신적인 가치를 창출함으로써 청정수는 물론 청정 에너지 생산과 보존 등 세계적으로 가장 시급한 문제들을 해결하는 데 기여하고 있다. 다우는 화학, 신소재, 농화학, 플라스틱 비즈니스 등을 통합한 업계 최고의 시장 주도형 포트폴리오를 중심으로 다양한 기술 기반의 제품과 솔루션을 약 180여 개국의 고객에게 제공하고 있으며 포장, 전자기기, 담수, 코팅 및 농업 분야에서 가파른 성장세를 보이고 있다. 다우의 연 매출은 2013년 기준 약 570억 달러에 달하며 전세계 36개국, 201개 공장에서 6천여 종 이상의 제품들을 생산하고 있다. 전세계에서 5만 3천여 명의 직원들이 다우를 위해 일하고 있다. 자세한 정보는 www.dow.com 참조.

다우 전자재료 소개

다우 전자재료는 전자 산업을 위한 소재 및 기술을 공급하고 있으며, 반도체, 인터커넥트, 피니싱, 태양광, 디스플레이, 광전지, LED 및 광학 시장에 혁신적인 리더십을 확보하고 있다. 전세계 최첨단 기술 센터에서 유능한 다우 연구개발자와 애플리케이션 전문가들이 팀을 이루어 고객과 긴밀하게 협력함으로써 차세대 전자를 위한 솔루션, 제품 및 기술 서비스를 제공하고 있다. 이러한 파트너십은 다우의 혁신을 가능하게 하는 원천이 되고 있다. 다우의 기술은 PC에서부터 TV 모니터, 스마트폰, 태블릿 및 기타 휴대용 기기에 이르는 가전제품뿐 만 아니라 전자 기기 및 시스템을 아우르는 폭넓은 산업 분야에 적용되고 있다.

자세한 정보는 http://www.dowelectronicmaterials.com 참조.


본사 문의:

Robin Sprague
Dow Electronic Materials
+1 302 366-0500, ext. 6157
rsprague@dow.com

보도자료 문의:
박윤희 실장 / 페리엔
02-565-6625
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