다우케미칼 전자재료, 첨단 반도체 제조를 위한 OPTIPLANE™ CMP 슬러리 플랫폼 출시

유전막 연마 공정(Dielectric Applications)에 성능 최적화된 다우의 차세대 CMP 슬러리

July 11, 2016

2016년 07월 11일 서울 - 다우케미칼 전자재료(Dow Electronic Materials)는 화학적 기계연마(CMP)를 위한 OPTIPLANE™(옵티플레인) 슬러리 플랫폼을 출시한다고 발표했다.

최근 대두되는 새로운 3D 로직, 낸드 플래시 및 패키징 응용 분야 등에서 요구되는 기기 성능을 충족시키기 위하여 평탄화 최적화 및 결함 최소화 기술의 필요성이 증가하고 있으며, 이것은 글로벌 CMP 소비재 시장의 꾸준한 성장세로 연결되고 있다. OPTIPLANE™ 슬러리 제품군은 차세대 반도체 제조 공정에서 경쟁력있는 비용으로 결함을 최소화하면서 엄격한 규격을 맞출 수 있는 슬러리에 대한 고객의 요구를 충족시키기 위해 개발되었다.

다우 전자재료 CMP 슬러리 글로벌 비즈니스 총괄 아담 맨조니(Adam Manzonie)는 “첨단 반도체 웨이퍼를 생산하는 로직 및 메모리 칩 회사들은 성능 개선, 비용 절감 및 반도체 수율의 극대화를 위한 도전에 직면하고 있으며, CMP는 이를 위한 제조 공정의 핵심부분으로서 그 사용이 증가하고 있다. OPTIPLANE™ 슬러리 플랫폼은 새롭게 부상하는 이러한 요건들을 충족시키면서 비용 효과적이고 다용도로 사용가능한 CMP 슬러리에 대한 고객들의 요구에 부응하기 위해 개발되었다.”라고 말했다.

OPTIPLANE™ CMP 슬러리는 첨단의 화학 및 입자 농도 최적화 기술을 통하여 연마속도를 넓은 범위에서 조정할 수 있으며, 선택비도 고객 고유의 규격에 맞도록 조정 가능하다. 또한, OPTIPLANE™ CMP 슬러리 플랫폼은 탁월한 평탄화 효율성과 낮은 결함 수준을 구현하는 한편, 희석을 통하여 생산성 향상과 공정 비용(Cost of Ownership) 절감에도 기여할 수 있다.

다우 전자재료 CMP 글로벌 R&D 총괄 마티 디그룻(Marty DeGroot)은 “다우는 CMP 기술의 선도업체로서 CMP 패드 및 슬러리 간 소재 상호작용에 대해 폭넓은 지식을 갖추고 있으며, 우수한 R&D 능력을 바탕으로 패드 성능에 맞추어 개발된 슬러리 제품을 통해 고객 공정에 최적화된 성능을 전달할 수 있다” 라고 말했다.

처음으로 시장에 소개될 OPTIPLANE™ 플랫폼 제품은 차세대 층간 유전막(ILD)용 슬러리인 OPTIPLANE™ 2118 CMP 슬러리로 다양한 FEOL(Front-End-Of-Line) 응용 분야에서 사용될 수 있으며 샘플 제공이 가능하다.

다우케미칼 소개

다우(NYSE: Dow)는 인류 진보에 필수적인 것들을 끊임 없이 향상시키기 위해 과학과 기술력을 결합시키고 있으며 원료, 고분자, 화학 및 생물학 분야의 전문 기술을 융합하여 혁신적인 가치를 창출함으로써 청정수는 물론 청정 에너지 생산과 보존 등 세계적으로 가장 시급한 문제들을 해결하는 데 기여하고 있다. 다우는 화학, 신소재, 농화학, 플라스틱 비즈니스 등을 통합한 업계 최고의 시장 주도형 포트폴리오를 중심으로 다양한 기술 기반의 제품과 솔루션을 약 180여 개국의 고객에게 제공하고 있으며 포장, 전자기기, 담수, 코팅 및 농업 분야에서 가파른 성장세를 보이고 있다. 다우의 연 매출은 2015년 기준 약 490억 달러에 달하며 전세계 35개국, 179개 공장에서 6천여 종 이상의 제품들을 생산하고 있다. 전세계에서 4만 9천 5백여 명의 직원들이 다우를 위해 일하고 있다. 여기서 "다우" 또는 "회사"라 함은 별도로 명시하지 않는 한 다우케미칼사과 전체 자회사를 의미한다. 자세한 정보는 www.dow.com 참조.

다우 전자재료 소개

다우 전자재료는 전자 산업을 위한 소재 및 기술을 공급하고 있으며, 반도체, 인터커넥트, 피니싱, 태양광, 디스플레이, 광전지, LED 및 광학 시장에 혁신적인 리더십을 확보하고 있다. 전세계 최첨단 기술 센터에서 유능한 다우 연구개발자와 애플리케이션 전문가들이 팀을 이루어 고객과 긴밀하게 협력함으로써 차세대 전자를 위한 솔루션, 제품 및 기술 서비스를 제공하고 있다. 이러한 파트너십은 다우의 혁신을 가능하게 하는 원천이 되고 있다. 다우의 기술은 PC에서부터 TV 모니터, 스마트폰, 태블릿 및 기타 휴대용 기기에 이르는 가전제품뿐 만 아니라 전자 기기 및 시스템을 아우르는 폭넓은 산업 분야에 적용되고 있다. 자세한 정보는 www.dowelectronicmaterials.com 참조.


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한국다우케미칼 권형준 이사
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jasonkwon@dow.com

커뮤니케이션웨이브 이예슬 대리
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