Dow 전자 재료
리소그래피 기술의 선두 주자

Dow의 Litho University - 차세대 기술 구현
여기를 클릭하세요 » Dow Electronic Materials는 반도체 마이크로리소그래피의 발전을 선도하는 혁신적 화학 솔루션의 광범위한 포트폴리오를 개발, 제조 및 공급합니다. 당사의 재료는 반도체 장비의 성능을 향상시켜 차세대
메모리 및 로직 칩에 대한 고객과 최종 사용자의 필요 요건을 충족시킵니다. Dow의 마이크로리소그래피 재료는 모바일 혁명의 실현과 소비자들이 현재 사용하는 태블릿, 스마트폰 및 기타 휴대용/웨어러블 장치 등 다양한 휴대용 기기의 혁명에 이바지하고 있습니다.

리소그래피 기술 제품 포트폴리오:

레지스트 아래

레지스트 아래
  • oBARC
    • Dow AR™ Fast Etch ®
  • Gap Fill
  • SOC / 하부층
  • DSA-브러시

레지스트

레지스트
  • ArF (193 nm)
  • KrF (248 nm)
  • g/i-라인
  • EUV
  • DSA-BCP

레지스트 위

레지스트  위
  • 탑 코트

패턴 증강

패턴 증강
  • 트리밍(라인)
  • 축소(C/H))