Dow エレクトロニック・マテリアルズ
半導体装置
ダウ・エレクトロニック・マテリアルズはCVD炭化珪素™ 材料の最先端サプライヤーです。半導体加工向け、特にエッチや熱処理工程において理想的なセラミックとなります。弊社の炭化珪素は化学気相析出法（ＣＶＤ）によって製造されますが、これは従来型の炭化珪素、さらにはその他セラミック、クオーツ、金属を凌駕することを意味します。ケミカルシールとベアリング、装置部品、半導体ウェーハハンドリングとエッチチャンバー部品、光学部品、その他厳しい条件化において最先端のパーフォーマンスを実現します
ダウのユニークなCVDプロセスにより優れた機能特性を有する再現性の高い製造が可能となりました。
- 低熱膨張係数
- 高熱伝導率
- 高い強度と剛性
- 空孔のない理論的密度
- 高硬度で軽量
テクノロジー・リーダーとして、ダウはお客様の用途に向けて材料のパーフォーマンスを最大限に高める方法を心得ています。CVD炭化珪素材は形状およびサイズ共に幅広くお客様の特別規格にまで加工することが可能です。